新聞資訊 您當(dāng)前的位置：首頁(yè) > 新聞資訊 > HMDS真空干燥箱 半導(dǎo) HMDS真空干燥箱 半導(dǎo)體/電子多領(lǐng)域預(yù)處理工藝解決方案 2025-05-15 | 文章來(lái)源： | 點(diǎn)擊率： HMDS真空干燥箱是一種專(zhuān)門(mén)用于半導(dǎo)體制造和微電子工藝中處理（Hexamethyldisilazane, HMDS）的專(zhuān)用設(shè)備，結(jié)合了真空環(huán)境與準(zhǔn)確溫控，主要用于增強(qiáng)光刻膠與硅片（或其他基材）之間的附著力，是光刻工藝中的關(guān)鍵步驟之一。 HMDS的作用與工藝背景 HMDS是一種硅烷化試劑，通過(guò)化學(xué)鍵合在硅片表面形成疏水層，減少光刻膠與基材間的界面張力，從而提升光刻膠的附著力，避免圖形脫落或缺陷。 工藝步驟： 涂覆HMDS：在硅片表面均勻旋涂HMDS溶液。 預(yù)烘（Soft Bake）：通過(guò)真空干燥箱去除溶劑并完成硅烷化反應(yīng)。 光刻膠涂覆：隨后進(jìn)行光刻膠涂布和曝光顯影。 HMDS真空干燥箱的核心設(shè)計(jì) 真空系統(tǒng) 快速抽真空，加速HMDS溶劑的揮發(fā)，避免殘留氣泡或污染。 溫控系統(tǒng) 準(zhǔn)確控溫，確保HMDS在硅片表面充分反應(yīng)，形成均勻的疏水層。 耐腐蝕腔體 內(nèi)膽采用不銹鋼或特氟龍涂層，抵抗HMDS的化學(xué)腐蝕性。 氣體管理 配備廢氣回收裝置（如活性炭吸附或冷凝系統(tǒng)），處理?yè)]發(fā)的有機(jī)溶劑（如HMDS、IPA等）。 安全防護(hù) 防爆設(shè)計(jì)（HMDS易燃），真空泄漏報(bào)警、過(guò)溫保護(hù)等。 典型應(yīng)用場(chǎng)景 半導(dǎo)體制造 硅片、GaAs晶圓等基材的HMDS預(yù)處理，提升光刻膠附著力。 微電子封裝 MEMS器件、傳感器表面的光刻圖形化處理。 先進(jìn)封裝 3D IC、TSV（硅通孔）工藝中的基板處理。 科研領(lǐng)域 新型光刻膠或納米材料表面改性研究。 一恒HMDS真空干燥箱可用于半導(dǎo)體、電子、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表等領(lǐng)域的無(wú)氧化干燥工藝中。 上一篇： 【公司新聞】重磅發(fā)布！半導(dǎo)體制冷恒溫恒濕箱BEH-500成功入圍2025年國(guó)產(chǎn)好儀器 下一篇： 光照培養(yǎng)箱與人工氣候箱：功能有區(qū)別，應(yīng)用各精彩 相關(guān)新聞： 水套式CO2培養(yǎng)箱：助力細(xì)胞與微生物研究 氣套式CO2培養(yǎng)箱：多領(lǐng)域應(yīng)用推動(dòng)生命科學(xué)研究 【邀請(qǐng)函】相約廈門(mén)，一恒儀器邀您共赴中國(guó)材料大會(huì)2025 【展會(huì)回顧】CPHI & PMEC China 2025，一恒儀器與您再聚申城 半導(dǎo)體系列：節(jié)能型低溫培養(yǎng)選擇 不止是“保溫箱”！電熱恒溫培養(yǎng)箱的應(yīng)用 分享到微信新浪微博騰訊微博人人網(wǎng)QQ好友0 返回新聞列表 >>
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